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SMC APTech

簡要描述:AZ1500 系列 高純度用 一段式減壓閥 小流量 膜片閥芯一體構造 APTech
●適用于半導體產業等高純度的氣體供給
適用于高純度工藝氣體的供給氣路
● 對應進口側高壓 最大24.1MPa、HR規格(可選項):最大31MPa
● 流量范圍 標準規格 :<30L/min(nor)
HF規格可選項 :120L/min(nor)
● 主體材質 SUS316L
● 需抗腐蝕的場合,內部材質也可是Ni

基礎信息

產品型號

AZ1500系列

廠商性質

代理商

更新時間

2025-12-16

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37
詳細介紹
品牌SMC/日本應用領域醫療衛生,化工,制藥/生物制藥,電氣,綜合

AZ1500 系列 高純度用 一段式減壓閥 小流量 膜片閥芯一體構造 APTech:

●適用于半導體產業等高純度的氣體供給
●閥體材質: SUS316L 二次熔煉或SUS316L
●接氣部電解拋光處理
●外部間隙密封構造SMC   APTechSMC   APTechSMC   APTech

SMC   APTech注1)閥座材質是聚酰亞胺的場合為-10~90℃。
 注2)用鐘罩法(氦氣進口側壓力10.5MPa)測定。
注3)用鐘罩法(氦氣進口側壓力7MPa)測定。
 注4)重量是大致值,隨配管連接方式或可選項等而有所不同。
● 適用于高純度工藝氣體的供給氣路● 對應進口側高壓 最大24.1MPa、HR規格(可選項):最大31MPa● 流量范圍 標準規格 :<30L/min(nor)HF規格可選項 :120L/min(nor)● 主體材質 SUS316L● 需抗腐蝕的場合,內部材質也可是Ni-Cr-Mo合金規格● 膜片閥芯一體結構

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