AP1200 系列 高純度用 一段式減壓閥 大流量 膜片閥芯一體構(gòu)造 APTech

●適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等高純度的氣體供給

●閥體材質(zhì): SUS316L 二次熔煉或SUS316L

●接氣部電解拋光處理

●外部間隙密封構(gòu)造

適用于高純度工藝氣體的供給氣路

● 對(duì)應(yīng)進(jìn)口側(cè)高壓　最大24.1MPa

● 流量范圍　標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：＜3

減壓閥：高純度工藝氣體適用，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等要求高純度氣體供給的產(chǎn)業(yè)。
適用于高純度工藝氣體的供給氣路● 對(duì)應(yīng)進(jìn)口側(cè)高壓　最大24.1MPa● 流量范圍　標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：＜30L/min（nor）　　　　　HF規(guī)格（可選項(xiàng)）：＜120L/min（nor）● 主體材質(zhì)　SUS316L二次熔煉● 需抗腐蝕的場(chǎng)合，內(nèi)部材質(zhì)也可是Ni-Cr-Mo合金規(guī)格

1）進(jìn)口側(cè)壓力最大可使用到15.9MPa。但是超過(guò)6.9MPa時(shí)，由于受壓力特性的影響，最大設(shè)定壓力會(huì)變得比1MPa低。最大設(shè)定壓力與進(jìn)口側(cè)壓力成比例變化，但進(jìn)口側(cè)壓力15.9MPa時(shí)的最大設(shè)定壓力大概是0.89MPa。注2）閥座材質(zhì)是聚酰亞胺的場(chǎng)合為－10~90℃。注3）用鐘罩法（氦氣進(jìn)口側(cè)壓力10.5MPa）測(cè)定。注4）用鐘罩法（氦氣進(jìn)口側(cè)壓力7MPa）測(cè)定。注5）選擇面板安裝可選項(xiàng)的場(chǎng)合，為通孔。注6）重量是大致值，隨配管連接方式或可選項(xiàng)等而有所不同。